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镀膜工艺监测器 SPM 220 在10^-2 hPa 的即时镀膜工艺气体分析

参考价面议

- 更新时间 - 2025-05-21

厂商性质其他

公司名称深圳市蓝钛科技有限公司

型号

产地

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产品简介

INTRODUCTION TO THE
真空镀膜工艺监测器 SPM 220 为镀膜工艺的定性和定量气体分析提供了的解决方案。HiPace 涡轮分子泵组和质谱仪系统的组合加上专门开发的镀膜工艺监测器离子源,在高达 10^-2 hPa 的压力下,实现了精确到分钟的工艺气体分析。普发真空还提供了一个带有压差孔板法兰的版本作为选择,使得在高达 10 hPa 的压力范围里进行直接的工艺气体分析成为了可能。

产品描述

DESCRIBE

产品优势


用于瞬时过程监测的镀膜工艺监测器离子源

用于 H2、O2、H2O 和 CO2 的优秀检测限

对测量结果的最小化背景影响

压力高达 10 hPa 的压差版本

多重操作允许带单个 PC 的多个质谱仪系统进行数据评估

灵活集成的紧凑尺寸

通过各种数字和模拟输入和输出,使系统集成方便而灵活




典型应用


在高达 10-2 hPa 的压力下,镀膜工序的分析可精确到分钟

真空镀膜系统的制造商和操作员

半导体生产

玻璃镀膜

薄膜太阳能电池发电

研发


关键词:质谱仪 电池

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